Для цитирования:

Рыжова О.Г., Григорьев А.А., Стороженко П.А., Поливанов А.Н., Жукова С.В., Шулятьева Т.И., Тимофеев И.А., Богачев Е.А. Предкерамические мономеры для получения нитрида и карбонитрида кремния методами химического осаждения из газовой фазы. Тонкие химические технологии. 2012;7(2):51-57.

For citation:

Ryzhova O.G., Grigoryev A.A., Storozhenko P.А., Polivanov A.N., Zhukova S.V., Shulyatyeva T.I., Timofeev I.A., Bogachev Е.А. Preceramic monomers for silicon carbonitride and nitride production by means of chemical vapor deposition. Fine Chemical Technologies. 2012;7(2):51-57. (In Russ.)