chemicallytechFine Chemical TechnologiesТонкие химические технологии2410-65932686-7575MIREA – Russian Technological University (RTU MIREA).chemicallytech-755Research ArticleCHEMISTRY AND TECHNOLOGY OF ORGANIC SUBSTANCESХИМИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВPreceramic monomers for silicon carbonitride and nitride production by means of chemical vapor depositionПредкерамические мономеры для получения нитрида и карбонитрида кремния методами химического осаждения из газовой фазыРыжоваО. Г.RyzhovaO. G.
начальник сектора
noemail@neicon.ruГригорьевА. А.GrigoryevA. A.
младший научный сотрудник
alex.grigorev@bk.ruСтороженкоП. А.StorozhenkoP. А.
генеральный директор
noemail@neicon.ruПоливановА. Н.PolivanovA. N.
заместитель директора
noemail@neicon.ruЖуковаС. В.ZhukovaS. V.
младший научный сотрудник
noemail@neicon.ruШулятьеваТ. И.ShulyatyevaT. I.
старший научный сотрудник
noemail@neicon.ruТимофеевИ. А.TimofeevI. A.
начальник сектора
noemail@neicon.ruБогачевЕ. А.BogachevЕ. А.
начальник отделения
noemail@neicon.ruФГУП ГНИИХТЭОСRussian FederationОАО «Композит»Russian Federation201228042012725157Copyright © Ryzhova O.G., Grigoryev A.A., Storozhenko P.А., Polivanov A.N., Zhukova S.V., Shulyatyeva T.I., Timofeev I.A., Bogachev Е.А., 20122012Рыжова О.Г., Григорьев А.А., Стороженко П.А., Поливанов А.Н., Жукова С.В., Шулятьева Т.И., Тимофеев И.А., Богачев Е.А.Ryzhova O.G., Grigoryev A.A., Storozhenko P.А., Polivanov A.N., Zhukova S.V., Shulyatyeva T.I., Timofeev I.A., Bogachev Е.А.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/755метилдихлорсиланаминолизтри(N-метил)триметилциклотрисилазантетра(N-метил)тетраметилциклотетрасилазаннитрид кремниякарбонитрид кремнияСVD/СVImethyldichlorosilaneaminolysistris(N-methyl)trimethylcyclosilazanetetra(N-methyl)tetra-methylcyclotetrasilazanesilicon nitridesilicon carbonitrideCVD/CVIReferencesRyzhova O.G., Polivanov A.N., Timofeev I.А. Process for new composite material based on silicon nitride with high resistance to thermal-cycle load and thermal shock // Abstr. of the 4th Eur. Organosilicon Days. - Bath, September 9-11, 2007. P-44. P. 204.Ryzhova O.G., Polivanov A.N., Timofeev I.А. Process for new composite material based on silicon nitride with high resistance to thermal-cycle load and thermal shock // Abstr. of the 4th Eur. Organosilicon Days. - Bath, September 9-11, 2007. P-44. P. 204.Ryzhova O.G., Polivanov A.N., Storozhenko P.A., Timofeev I.А. Precursors of silazanes class and methods of composites manufacture based on silicon nitride, silicon curbonitride // Abstr. of the 15th Int. Symp. on Organosilicon Chemistry. - Jeju, Korea, August 1-6, 2008. P159. P. 191.Ryzhova O.G., Polivanov A.N., Storozhenko P.A., Timofeev I.А. Precursors of silazanes class and methods of composites manufacture based on silicon nitride, silicon curbonitride // Abstr. of the 15th Int. Symp. on Organosilicon Chemistry. - Jeju, Korea, August 1-6, 2008. P159. P. 191.Рыжова О.Г., Григорьев А.А., Стороженко П.А., Поливанов А.Н., Жукова С.В. Иссле-дование метилциклосилазанов методом спектроскопии ЯМР 29Si, 1H // Сб. тезисов докладов III молодежной научно-техн. конф. «Наукоемкие химические технологии-2009». - Москва, 13-14 ноября 2009. С. 12.Рыжова О.Г., Григорьев А.А., Стороженко П.А., Поливанов А.Н., Жукова С.В. Иссле-дование метилциклосилазанов методом спектроскопии ЯМР 29Si, 1H // Сб. тезисов докладов III молодежной научно-техн. конф. «Наукоемкие химические технологии-2009». - Москва, 13-14 ноября 2009. С. 12.Ryzhova O.G., Pankov K.A., Storozhenko P.A., Polivanov A.N., Timofeev I.A., Bogachev Е.А. Preceramic monomers for coating on the basis of silicon nitride, produced by CVD method // Abstr. of the 5th Eur. Organosilicon Days. - Vienna, September 2009. P. 184.Ryzhova O.G., Pankov K.A., Storozhenko P.A., Polivanov A.N., Timofeev I.A., Bogachev Е.А. Preceramic monomers for coating on the basis of silicon nitride, produced by CVD method // Abstr. of the 5th Eur. Organosilicon Days. - Vienna, September 2009. P. 184.Yu Ga-Er., Parrick J., Edirisinghe M., Ralph B. Synthesis of silicon oxynitride from a polymeric precursor // J. Mater. Sci. 1994. V. 29. P. 1680-1685.Yu Ga-Er., Parrick J., Edirisinghe M., Ralph B. Synthesis of silicon oxynitride from a polymeric precursor // J. Mater. Sci. 1994. V. 29. P. 1680-1685.Seyferth D., Wiseman G. H. Polysilazane routes to silicon nitride // Polym. Prepr. 1984. V. 25. P. 10-12.Seyferth D., Wiseman G. H. Polysilazane routes to silicon nitride // Polym. Prepr. 1984. V. 25. P. 10-12.Семенова Е.А., Жинкин Д.Я., Андрианов К.А. Реакция диалкилдихлорсиланов и алкилдихлорсиланов с метиламином // Изв. АН СССР. Cер. хим. 1962. № 10. С. 2036-2039.Семенова Е.А., Жинкин Д.Я., Андрианов К.А. Реакция диалкилдихлорсиланов и алкилдихлорсиланов с метиламином // Изв. АН СССР. Cер. хим. 1962. № 10. С. 2036-2039.Потапов В.М. Стереохимия: учебн. пособие для вузов / 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Химия, 1988. 464 с.Потапов В.М. Стереохимия: учебн. пособие для вузов / 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Химия, 1988. 464 с.Жинкин Д.Я., Семенова Е.А., Соболевский М.В., Андрианов К.А. Превращение алкилцикло-силазанов при повышенных температурах // Элементоорган. соед. 1963. № 12. С. 16-17.Жинкин Д.Я., Семенова Е.А., Соболевский М.В., Андрианов К.А. Превращение алкилцикло-силазанов при повышенных температурах // Элементоорган. соед. 1963. № 12. С. 16-17.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.