Preceramic monomers for silicon carbonitride and nitride production by means of chemical vapor deposition
Abstract
Keywords
547.253+547.44+546.287
About the Authors
O. G. RyzhovaRussian Federation
A. A. Grigoryev
Russian Federation
P. А. Storozhenko
Russian Federation
A. N. Polivanov
Russian Federation
S. V. Zhukova
Russian Federation
T. I. Shulyatyeva
Russian Federation
I. A. Timofeev
Russian Federation
Е. А. Bogachev
Russian Federation
References
1. Ryzhova O.G., Polivanov A.N., Timofeev I.А. Process for new composite material based on silicon nitride with high resistance to thermal-cycle load and thermal shock // Abstr. of the 4th Eur. Organosilicon Days. - Bath, September 9-11, 2007. P-44. P. 204.
2. Ryzhova O.G., Polivanov A.N., Storozhenko P.A., Timofeev I.А. Precursors of silazanes class and methods of composites manufacture based on silicon nitride, silicon curbonitride // Abstr. of the 15th Int. Symp. on Organosilicon Chemistry. - Jeju, Korea, August 1-6, 2008. P159. P. 191.
3. Рыжова О.Г., Григорьев А.А., Стороженко П.А., Поливанов А.Н., Жукова С.В. Иссле-дование метилциклосилазанов методом спектроскопии ЯМР 29Si, 1H // Сб. тезисов докладов III молодежной научно-техн. конф. «Наукоемкие химические технологии-2009». - Москва, 13-14 ноября 2009. С. 12.
4. Ryzhova O.G., Pankov K.A., Storozhenko P.A., Polivanov A.N., Timofeev I.A., Bogachev Е.А. Preceramic monomers for coating on the basis of silicon nitride, produced by CVD method // Abstr. of the 5th Eur. Organosilicon Days. - Vienna, September 2009. P. 184.
5. Yu Ga-Er., Parrick J., Edirisinghe M., Ralph B. Synthesis of silicon oxynitride from a polymeric precursor // J. Mater. Sci. 1994. V. 29. P. 1680-1685.
6. Seyferth D., Wiseman G. H. Polysilazane routes to silicon nitride // Polym. Prepr. 1984. V. 25. P. 10-12.
7. Семенова Е.А., Жинкин Д.Я., Андрианов К.А. Реакция диалкилдихлорсиланов и алкилдихлорсиланов с метиламином // Изв. АН СССР. Cер. хим. 1962. № 10. С. 2036-2039.
8. Потапов В.М. Стереохимия: учебн. пособие для вузов / 2-е изд., перераб. и доп. - М.: Химия, 1988. 464 с.
9. Жинкин Д.Я., Семенова Е.А., Соболевский М.В., Андрианов К.А. Превращение алкилцикло-силазанов при повышенных температурах // Элементоорган. соед. 1963. № 12. С. 16-17.
Review
For citations:
Ryzhova O.G., Grigoryev A.A., Storozhenko P.А., Polivanov A.N., Zhukova S.V., Shulyatyeva T.I., Timofeev I.A., Bogachev Е.А. Preceramic monomers for silicon carbonitride and nitride production by means of chemical vapor deposition. Fine Chemical Technologies. 2012;7(2):51-57. (In Russ.)