Для цитирования:
Артамонов А.В., Астахов В.П., Карпов В.В., Максимов А.Д. Особенности импульсного фотонного отжига дефектов, введенных в кристаллы InSb при имплантации ионов Be+. Тонкие химические технологии. 2012;7(3):46-50.
For citation:
Artamonov A.V., Astakhov V.P., Karpov V.V., Maximov A.D. Pulsed photon annealing of Ве+-implanted InSb layers. Fine Chemical Technologies. 2012;7(3):46-50. (In Russ.)