Preview

Тонкие химические технологии

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Артамонов А.В., Астахов В.П., Карпов В.В., Максимов А.Д. Особенности импульсного фотонного отжига дефектов, введенных в кристаллы InSb при имплантации ионов Be+. Тонкие химические технологии. 2012;7(3):46-50.

For citation:


Artamonov A.V., Astakhov V.P., Karpov V.V., Maximov A.D. Pulsed photon annealing of Ве+-implanted InSb layers. Fine Chemical Technologies. 2012;7(3):46-50. (In Russ.)



Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 International License.


ISSN 2410-6593 (Print)
ISSN 2686-7575 (Online)