High-resolution microscopy methods for surface morphology semiconductors investigation
Abstract
About the Authors
A. E. MirofyanchenkoRussian Federation
A. S. Kashuba
Russian Federation
E. V. Pryanikova
Russian Federation
N. I. Yakovleva
Russian Federation
V. V. Arbenina
Russian Federation
References
1. Филачев А.М., Таубкин И.И., Тришенков М.А.. Твердотельная фотоэлектроника. Фоторезисторы и фотоприёмные устройства. М: Физматкнига, 2012. 367 c.
2. Watt I.M. The Principles and Practice of Electron Microscopy. Cambridge: Cambridge University Press, 1985. 303 p.
3. Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Ф. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: в 2-х кн. Пер. с англ. М.: Мир, 1984. 303 с.
4. Барышников Ф.М., Зайцев А.А., Концевой Ю.А. // Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. 2010. Т. 225. С. 8-12 .
5. Binnig G., Quate C.F., Gerber Ch. // Physical Review Letters. 1986. V. 56. I. 9. Р. 1-2 .
6. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Н.Новгород: Техносфера, 2004. 144 c.
7. Russell P., Batchelor D., Thornton J. // Microscopy and Analysis. 2000. V. 49. Р. 1-9.
8. Sun W., Fan H., Peng Z., Zhang L., Zhang X., Zhang L., Lu Z., Si J., Emelyanov E., Putyato M., Semyagin B., Pchelyakov O., Preobrazhenskii V. // Infrared Physics & Technology. 2014. V. 62. P. 143-146.
9. Сизов А.Л., Бурлаков И.Д., Яковлева Н.И., Коротаев Е.Д., Мирофянченко А.Е. // Вестник МИТХТ. 2013. Т. 8. № 5. С. 94-98
10. Пермикина Е.В., Кашуба А.С., Арбенина В.В. // Неорг. материалы. 2012. Т. 48. № 7. C. 765-770.
11. Пермикина Е.В., Кашуба А.С., Ляликов А.В., Коротаев Е.Д., Бурлаков И.Д. // Прикладная физика. 2012. № 5. С. 81-90.
12. Васильев А.Г., Колковский Ю.В., Концевой Ю.А. Приборы и устройства на широкозонных полупроводниках. М.: Техносфера, 2011. 416 c.
13. Neves B.R.A., Salmon M.E., Russell P.E., Troughton E.B. // Microscopy and Microanalysis, 1999. V. 49. P. 413-419.
14. Lemoine P., Lamberton R.W., Ogwu A.A. // J. App. Phys. 1999. V. 86. P. 6564-6570.
15. Власов А.И., Елсуков К.А., Косолапов И.А. Электронная микроскопия: учеб. пособие. М.: Издво МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2011. 168 с.
16. Мошников В.А., Спивак Ю.М., Алексеев П.А., Пермяков Н.В. Атомно-силовая микросокопия для исследования наноструктурированных материалов и приборных структур: учеб. пособие. СПб: Издво СПбГЭТУ «ЛЭТИ», 2014. 144 с.
Review
For citations:
Mirofyanchenko A.E., Kashuba A.S., Pryanikova E.V., Yakovleva N.I., Arbenina V.V. High-resolution microscopy methods for surface morphology semiconductors investigation. Fine Chemical Technologies. 2015;10(6):37-43. (In Russ.)