Для цитирования:

Арбенина В.В., Акчурин Р.Х., Берлинер Л.Б. Компьютерное моделирование процессов полупроводниковой технологии с помощью информационно-расчетной системы. Тонкие химические технологии. 2015;10(3):70-76.

For citation:

Arbenina V.V., Akchurin R.Kh., Berliner L.B. Computer modeling of processes of semiconductor technology through information-calculating system. Fine Chemical Technologies. 2015;10(3):70-76. (In Russ.)