Влияние морфологии и полярности поверхности эпитаксиальных слоев на качество пассивирующего покрытия и параметры матричных фотоприемных устройств на основе CdхHg1-хTe
Аннотация
Прослежено влияние дефектности, планарности и кристаллографической полярности поверхности эпитаксиальных слоев CdхHg1-хТe, выращенных методом жидкофазной эпитаксии на подложках CdуZn1-уТe (111), на качество пассивирующего покрытия CdTe, нанесенного на поверхность структур методом «горячей стенки», и, как следствие, на технологию изготовления и фотоэлектрические параметры приборов.
Об авторах
И. Д. Бурлаков
ФГУП «НПО «Орион»
Россия
начальник отдела
Россия
начальник отдела
А. С. Кашуба
ФГУП «НПО «Орион»
Россия
ведущий инженер
Россия
ведущий инженер
С. В. Головин
ФГУП «НПО «Орион»
Россия
главный специалист
Россия
главный специалист
Е. В. Пермикина
ФГУП «НПО «Орион»
Россия
ведущий инженер
Россия
ведущий инженер
В. В. Арбенина
МИТХТ им. М.В.Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия
кафедра Материалы микро-, опто- и наноэлектроники, доцент
Россия
кафедра Материалы микро-, опто- и наноэлектроники, доцент
Список литературы
1. Матричные фотоприемные устройства среднего и дальнего инфракрасного диапазонов спектра на основе фотодиодов из CdхHg1-хTe / В. И. Стафеев, К. О. Болтарь, И. Д. Бурлаков, В. М. Акимов, Е. А. Климанов, Л. Д. Сагинов, В. Н. Соляков, Н. Г. Мансветов, В. П. Пономаренко, А. А. Тимофеев, А. М. Филачев // Физика и техника полупроводников. - 2005. - Т. 39, вып. 10. - С. 1257-1265.
2. Properties of passivant films on CdHgTe - interaction with the substrate / G .D. Davis [et al.] // Proc. SPIE. - 1981. - Vol. 285. - P. 126-134.
3. Knowles, P. Mercury Cadmium Telluride Detectors for Thermal Imaging / P. Knowles //GEC Journal of Research. - 1984. - Vol. 2, № 3. - Р. 141-156.
4. Пат. 55507 РФ, МКИ H01 L21/306. Установка нанесения пассивирующего диэлектрика / И. Д. Бурлаков, С. В. Головин, А. С. Кашуба. - № 200611005 ; заявлено 28.03.06 ; опубл. 10.08.06, Бюл. № 29. - 4 с.
5. Исследование процесса нанесения пассивирующих покрытий CdTe на эпитаксиальные слои CdхHg1-хTe для создания фотоприемников ИК-диапазона / В. В. Арбенина, Т. В.Данилова, А. С.Кашуба, Е. В.Пермикина // Вестник МИТХТ. - 2007. - Т. 2, № 5. - С. 47-51.
Рецензия
Для цитирования:
Бурлаков И.Д., Кашуба А.С., Головин С.В., Пермикина Е.В., Арбенина В.В. Влияние морфологии и полярности поверхности эпитаксиальных слоев на качество пассивирующего покрытия и параметры матричных фотоприемных устройств на основе CdхHg1-хTe. Тонкие химические технологии. 2009;4(4):78-83.
For citation:
Burlakov I.D., Kashuba A.S., Golovin S.V., Permikina E.V., Arbenina V.V. The influence of the epitaxial layers surface morphology and polarity on quality of passivating coating and the parameters of arrays photosensitive devices on base CdхHg1-хTe. Fine Chemical Technologies. 2009;4(4):78-83. (In Russ.)
Просмотров:
369
Послать статью по эл. почте 
