The influence of the epitaxial layers surface morphology and polarity on quality of passivating coating and the parameters of arrays photosensitive devices on base CdхHg1-хTe
Abstract
The influence of growth surface defects of CdхHg1-хTe epitaxial layers which has been grown by liquid phase epitaxy on quality of passivating coatings, creating by the method of the hot wall, is investigated. The reason of negative action nonplanarity and а surface defects of CdхHg1-хTe epitaxial layers on the technological process of the manufacture of photodiodes is established. The influence of crystallographic polarity of CdхHg1-хTe epitaxial layers on velocity of the CdTe coating precipitation and surface morphology is discussed
About the Authors
I. D. Burlakov
ФГУП «НПО «Орион»
Russian Federation
Russian Federation
A. S. Kashuba
ФГУП «НПО «Орион»
Russian Federation
Russian Federation
S. V. Golovin
ФГУП «НПО «Орион»
Russian Federation
Russian Federation
E. V. Permikina
ФГУП «НПО «Орион»
Russian Federation
Russian Federation
V. V. Arbenina
МИТХТ им. М.В.Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Russian Federation
Russian Federation
References
1. Матричные фотоприемные устройства среднего и дальнего инфракрасного диапазонов спектра на основе фотодиодов из CdхHg1-хTe / В. И. Стафеев, К. О. Болтарь, И. Д. Бурлаков, В. М. Акимов, Е. А. Климанов, Л. Д. Сагинов, В. Н. Соляков, Н. Г. Мансветов, В. П. Пономаренко, А. А. Тимофеев, А. М. Филачев // Физика и техника полупроводников. - 2005. - Т. 39, вып. 10. - С. 1257-1265.
2. Properties of passivant films on CdHgTe - interaction with the substrate / G .D. Davis [et al.] // Proc. SPIE. - 1981. - Vol. 285. - P. 126-134.
3. Knowles, P. Mercury Cadmium Telluride Detectors for Thermal Imaging / P. Knowles //GEC Journal of Research. - 1984. - Vol. 2, № 3. - Р. 141-156.
4. Пат. 55507 РФ, МКИ H01 L21/306. Установка нанесения пассивирующего диэлектрика / И. Д. Бурлаков, С. В. Головин, А. С. Кашуба. - № 200611005 ; заявлено 28.03.06 ; опубл. 10.08.06, Бюл. № 29. - 4 с.
5. Исследование процесса нанесения пассивирующих покрытий CdTe на эпитаксиальные слои CdхHg1-хTe для создания фотоприемников ИК-диапазона / В. В. Арбенина, Т. В.Данилова, А. С.Кашуба, Е. В.Пермикина // Вестник МИТХТ. - 2007. - Т. 2, № 5. - С. 47-51.
Review
For citations:
Burlakov I.D., Kashuba A.S., Golovin S.V., Permikina E.V., Arbenina V.V. The influence of the epitaxial layers surface morphology and polarity on quality of passivating coating and the parameters of arrays photosensitive devices on base CdхHg1-хTe. Fine Chemical Technologies. 2009;4(4):78-83. (In Russ.)
Views: 269
Email this article 
