Для цитирования:

Шелонин Е.А., Хорт А.М., Яковенко А.Г., Гвелесиани А.А., Абрамова Е.Н. Особенности электрохимического полирующего травления моно-кристаллического кремния в неокислительном травителе. Тонкие химические технологии. 2012;7(4):84-87.

For citation:

Shelonin E.A., Kort A.M., Yakovenko A.G., Gvelesiani A.A., Abramova E.N. Specific features of electrochemical polishing etch of single crystal silicon in a non-oxidizing etching agent. Fine Chemical Technologies. 2012;7(4):84-87. (In Russ.)