Для цитирования:
Арбенина В.В., Кашуба А.С., Пермикина Е.В. МИКРОСТРУКТРА СЛОЕВ И ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ДИФФУЗИОННЫХ ОБЛАСТЕЙ В СИСТЕМАХ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ GaAs. Тонкие химические технологии. 2014;9(5):44-48.
For citation:
Arbenina V.V., Kashuba A.S., Permikina E.V. Estimation of diffusion behaviour of metals used for the creation of multilayered contacts to heterostructures based on GaAs. Fine Chemical Technologies. 2014;9(5):44-48. (In Russ.)