Estimation of diffusion behaviour of metals used for the creation of multilayered contacts to heterostructures based on GaAs
Abstract
About the Authors
V. V. ArbeninaRussian Federation
A. S. Kashuba
Russian Federation
E. V. Permikina
Russian Federation
References
1. Арбенина В.В., Мармалюк А.А., Арбенин Д.Е., Будкин И.В., Говорков О.И. Травление смесью HNO3+HCl+ глицерин слоев металлизации на гетероструктурах GaAs/AlxGa1-xAs // Неорган. материалы. 2008. Т. 44. № 12. С. 1418-1424.
2. Стрельченко C.C., Лебедев В.В. Соединения А3В5 : справочник. М.: Металлургия, 1984. 144 с.
3. Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978. 247 с.
4. Бокштейн Б.С., Копецкий Ч.В., Швиндлерман Л.С. Термодинамика и кинетика границ зерен в металлах. М.: Металлургия, 1986. 223 с.
5. Харсен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов: в 2-х т. М.: Металлургия, 1962. Т. 1. 608 с.
For citation:
Arbenina V.V., Kashuba A.S., Permikina E.V. Estimation of diffusion behaviour of metals used for the creation of multilayered contacts to heterostructures based on GaAs. Fine Chemical Technologies. 2014;9(5):44-48. (In Russ.)