Для цитирования:

Мирофянченко А.Е., Кашуба А.С., Пряникова Е.В., Яковлева Н.И., Арбенина В.В. Использование методов микроскопии высокого разрешения для изучения морфологии поверхности полупроводниковых материалов. Тонкие химические технологии. 2015;10(6):37-43.

For citation:

Mirofyanchenko A.E., Kashuba A.S., Pryanikova E.V., Yakovleva N.I., Arbenina V.V. High-resolution microscopy methods for surface morphology semiconductors investigation. Fine Chemical Technologies. 2015;10(6):37-43. (In Russ.)