Компьютерное моделирование процессов полупроводниковой технологии с помощью информационно-расчетной системы
Аннотация
Разработана информационно-расчетная система (ИРС), которая позволяет средствами компьютерной техники решать наиболее важные технологические задачи, связанные с формированием монокристаллов и эпитаксиальных гетероструктур на основе полупроводниковых соединений типа AIIIBV. Приведен перечень решаемых с помощью ИРС задач, даны примеры использования базы данных для конкретных полупроводниковых систем.
Об авторах
В. В. Арбенина
МИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, доцент
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, доцент
Р. Х. Акчурин
МИТХТ им. М.В. Ломоносова,119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, профессор
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, профессор
Л. Б. Берлинер
МИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, ведущий научный сотрудник
Россия
Кафедра материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, ведущий научный сотрудник
Список литературы
1. Guggenheim E.A. Mixtures. London: Oxford, 1952. 651 p.
2. Vialand L. J. // Acta Metallurgica, 1963. V. 11. № 2. P. 137-142.
3. Акчурин Р.Х., Берлинер Л.Б. Компьютерное моделирование процессов полупроводниковой технологии. I. Моделирование процесса жидкофазной эпитаксии: учебно-метод. пособие. М.: ИПЦ МИТХТ, 1998. 58 с.
4. Jordan A. S., Ilegems M. // J. Phys. Chem. Solids. 1975. V. 36. № 2. P. 329-342
Рецензия
Для цитирования:
Арбенина В.В., Акчурин Р.Х., Берлинер Л.Б. Компьютерное моделирование процессов полупроводниковой технологии с помощью информационно-расчетной системы. Тонкие химические технологии. 2015;10(3):70-76.
For citation:
Arbenina V.V., Akchurin R.Kh., Berliner L.B. Computer modeling of processes of semiconductor technology through information-calculating system. Fine Chemical Technologies. 2015;10(3):70-76. (In Russ.)
Просмотров:
325
Послать статью по эл. почте 
