Preview

Тонкие химические технологии

Расширенный поиск

Исследование процесса нанесения пассивирующих покрытий CdTe на эпитаксиальные слои CdхHg1-хТe для создания фотоприемников ИК-диапазона

Аннотация

сследованы особенности формирования пассивирующих покрытий теллурида кадмия на эпитаксиальных слоях CdхНg1-хТе, применяемых для изготовления матричных фотоприемников ИК-диапазона. Установлены закономерности процесса нанесения пассивирующих покрытий методом «горячей стенки» при однократном и многократном использовании источника CdTe.

Об авторах

В. В. Арбенина
МИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия


Т. В. Данилова
МИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия


А. С. Кашуба
ФГУП «НПО «Орион»
Россия


Е. В. Пермикина
ФГУП «НПО «Орион»
Россия


Список литературы

1. Jong, Hwa Choi. Optical infrared detectors / Hwa Choi Jong, Chul Lee Hee // Semiconductor Science and Technology. – 2002. – Vol. 17. – P. 1456–1561.

2. Таиров, Ю. М.. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – М. : Высшая школа, 1983. – 271 с.


Рецензия

Для цитирования:


Арбенина В.В., Данилова Т.В., Кашуба А.С., Пермикина Е.В. Исследование процесса нанесения пассивирующих покрытий CdTe на эпитаксиальные слои CdхHg1-хТe для создания фотоприемников ИК-диапазона. Тонкие химические технологии. 2007;2(5):51-56.

For citation:


Arbenina V.V., Danilova T.V., Kashuba A.S., Permikina E.V. The research of process of CdTe passivation coverings formation on epitaxial layers CdхHg1-хTe for creation of IRphotodetectors. Fine Chemical Technologies. 2007;2(5):51-56. (In Russ.)

Просмотров: 302


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 International License.


ISSN 2410-6593 (Print)
ISSN 2686-7575 (Online)