chemicallytechFine Chemical TechnologiesТонкие химические технологии2410-65932686-7575MIREA – Russian Technological University (RTU MIREA).chemicallytech-1343Research ArticleCHEMISTRY AND TECHNOLOGY OF INORGANIC MATERIALSХИМИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ НЕОРГАНИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВThe research of process of CdTe passivation coverings formation on epitaxial layers CdхHg1-хTe for creation of IRphotodetectors.Исследование процесса нанесения пассивирующих покрытий CdTe на эпитаксиальные слои CdхHg1-хТe для создания фотоприемников ИК-диапазонаАрбенинаВ. В.ArbeninaV. V.noemail@neicon.ruДаниловаТ. В.DanilovaT. V.noemail@neicon.ruКашубаА. С.KashubaA. S.noemail@neicon.ruПермикинаЕ. В.PermikinaE. V.noemail@neicon.ruМИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86РоссияM.V. Lomonosov Moscow State University of Fine Chemical Technologies, 86, Vernadskogo pr., Moscow 119571Russian FederationФГУП «НПО «Орион»Russian Federation200728102007255156Copyright © Arbenina V.V., Danilova T.V., Kashuba A.S., Permikina E.V., 20072007Арбенина В.В., Данилова Т.В., Кашуба А.С., Пермикина Е.В.Arbenina V.V., Danilova T.V., Kashuba A.S., Permikina E.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/1343

The features of formation passivation coverings of cadmium telluride on epitaxial layers CdхНg1-хТе used for manufacturing of matrix photodetectors of the IR-range are investigated. The laws of process of passivation coverings creation by a method of «the hot wall » are established at unitary and repeated use of CdTe source.

сследованы особенности формирования пассивирующих покрытий теллурида кадмия на эпитаксиальных слоях CdхНg1-хТе, применяемых для изготовления матричных фотоприемников ИК-диапазона. Установлены закономерности процесса нанесения пассивирующих покрытий методом «горячей стенки» при однократном и многократном использовании источника CdTe.

ReferencesJong, Hwa Choi. Optical infrared detectors / Hwa Choi Jong, Chul Lee Hee // Semiconductor Science and Technology. – 2002. – Vol. 17. – P. 1456–1561.Jong, Hwa Choi. Optical infrared detectors / Hwa Choi Jong, Chul Lee Hee // Semiconductor Science and Technology. – 2002. – Vol. 17. – P. 1456–1561.Таиров, Ю. М.. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – М. : Высшая школа, 1983. – 271 с.Таиров, Ю. М.. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. – М. : Высшая школа, 1983. – 271 с.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.