Для цитирования:

Багаев Т.А., Ладугин М.А., Падалица А.А., Мармалюк А.А. ВЛИЯНИЕ УПРУГИХ НАПРЯЖЕНИЙ НА ПРОЦЕСС ПОЛУЧЕНИЯ КВАНТОВЫХ ЯМ InGaAs/AlGaAs МЕТОДОМ МОС-ГИДРИДНОЙ ЭПИТАКСИИ. Тонкие химические технологии. 2013;8(4):73-76.

For citation:

Bagaev Т.А., Ladugin М.А., Padalitsa А.А., Marmalyuk А.А. THE EFFECT OF ELASTIC STRESS ON THE PROCESS OF OBTAINING InGaAs/AlGaAs QUANTUM WELL BY MOCVD. Fine Chemical Technologies. 2013;8(4):73-76. (In Russ.)