INVESTIGATION OF Ge SUBSTRATES FOR MCT GROWN BY MOLECULAR-BEAM EPITAXY
Abstract
About the Authors
A. L. SizovRussian Federation
I. D. Burlakov
Russian Federation
N. I. Yakovleva
Russian Federation
E. D. Korotaev
Russian Federation
A. E. Mirofyanchenko
Russian Federation
References
1. Henini M., Razeghi M.Ed. Handbook of Infrared Detection Technologies. - Oxford: Elsevier Science, 2002. Р. 318-320.
2. Dhanaraj G., Byrappa K., Prasad V., Dudley M. Hadbook of Crystal Growth. - NY: Springer, 2010. 1102 p.
3. Варавин В.С., Гутаковский А.К., Дворецкий С.А., Карташев В.А., Латышев А.В., Михайлов Н.Н., Придачин Д.Н., Ремесник В.Г., Рыхлицкий С.В., Сабинина И.В., Сидоров Ю.Г., Титов В.П., Швец В.А., Якушев М.В., Асеев А.Л. Состояние и перспективы молекулярно-лучевой эпитаксии CdxHg1-xTe // Прикладная физика. 2002. № 6. С. 25-41.
4. Vilela M.F., Buell A.A., Newton M.D., Venzor G.M., Childs A.C., Peterson J.M., Franklin J.J., Bornfreund R.E., Radford W.A., Johnson S.M. Control and growth of middle wave infrared (MWIR) Hg1−xCdxTe on Si by molecular beam epitaxy //J. Electron. Mater. 2005. V. 34. № 6. P. 898-904.
5. Zanatta J.P., Ferret P., Theret G., Million A., Wolny M., Chamonal J.P., Destefanis G. Hetero-epitaxy of HgCdTe (211)B on Ge substrates by molecular beam epitaxy for infrared detectors // J. Electron. Mater. 1998. V. 27. № 6. P. 542-545.
6. Tribolet P., Blondel S., Costa P., Combette A., Vial L., Destefanis G., Ballet P., Zanatta J.P., Gravrand O., Largeron C., Chamonal J.P., Million A. MWIR focal planes arrays made with HgCdTe grown by MBE on germanium substrates // Proc. SPIE. 2006. V. 6206. [6206-82]. doi:10.1117/12.669120.
7. Zanatta J.P., Badano G., Ballet P., Largeron C., Baylet J., Gravrand O., Rothman J., Castelein P., Chamonal J.P., Million A., Destefanis G., Mibord S., Brochier E., Costa P. Molecular beam epitaxy growth of HgCdTe on Ge for third-generation infrared detectors // J. Electron. Mater. 2006. V. 35. № 6. P. 1231-1236.
8. Zanatta J.P., Duvaut P., Ferret P., Million A., Destefanis G., Rambaud P., Vannuffel C. Growth of HgCdTe and CdTe(331)B on germanium substrate by molecular beam epitaxy // Appl. Phys. Lett. 1997. V. 71. P. 2984-2996.
9. Якушев М.В., Брунев Д.В, Варавин В.С., Васильев В.В., Дворецкий С.А., Марчишин И.В., Предеин А.В., Сабинина И.В., Сидоров Ю.Г., Сорочкин А.В. Гетероструктуры HgCdTe на подложках Si(310) для инфракрасных фотоприемников средневолнового спектрального диапазона // Физика и техника полупроводников. 2011. Т. 45. Вып. 3. C. 396-402.
For citation:
Sizov A.L., Burlakov I.D., Yakovleva N.I., Korotaev E.D., Mirofyanchenko A.E. INVESTIGATION OF Ge SUBSTRATES FOR MCT GROWN BY MOLECULAR-BEAM EPITAXY. Fine Chemical Technologies. 2013;8(5):94-98. (In Russ.)