Для цитирования:
Горский А.А. Оценка возможности использования газового смесителя исходных компонентов мос-гидридной эпитаксии для получения резких гетеропереходов. Тонкие химические технологии. 2014;9(4):70-72.
For citation:
Gorskiy A.A. The estimation of possibility of the using gas mixer for obtaining sharper MOCVD grown heterojunctions. Fine Chemical Technologies. 2014;9(4):70-72. (In Russ.)