The balance scheme of trichlorosilane production process made in «EXCEL»
Abstract
References
1. Технология полупроводникового кремния / Э. С. Фалькевич [и др.] − М. : Металлургия, 1992. − 408 с.
2. Современное состояние и основные тенденции развития технологии поликристаллического кремния / И. В. Гранков, В. П. Гришин, Л. С. Иванов, Э. П. Бочкарев // Цветные металлы. - 1991. − № 8. − С. 29-31.
3. Кожемякин, В. А. Утилизация отходов в производстве трихлорсилана и поликристаллического кремния / В. А. Кожемякин, А. Н. Почтарев // Цветные металлы. - 2008. - № 10. - С. 65-68.
4. Апанасенко, В. В. Расчет материального баланса металлургического производства с использованием электронных таблиц «Excel» / В. В. Апанасенко // Вестник МИТХТ - 2009. - Т. 4, № 4. − С. 71-77.
Review
For citations:
Apanasenko V.V. The balance scheme of trichlorosilane production process made in «EXCEL». Fine Chemical Technologies. 2010;5(3):34-40. (In Russ.)