The balance scheme of trichlorosilane production process made in «EXCEL»
Abstract
The balance scheme of trichlorosilane production based on hydrochlorination of elemental silicon was worked out with the use of Microsoft Excel. The scheme includes the following steps: synthesis of hydrogen chloride, synthesis of trichlorosilane, separation of vapor-gas mixture and purification of trichlorosilane. If the user modifies the calculation conditions, the scheme allows to re-count automatically the material flows, specific consumption coefficients etc., and also to check the correspondence between the balance data obtained in the calculation process and required indices of production.
References
1. Технология полупроводникового кремния / Э. С. Фалькевич [и др.] − М. : Металлургия, 1992. − 408 с.
2. Современное состояние и основные тенденции развития технологии поликристаллического кремния / И. В. Гранков, В. П. Гришин, Л. С. Иванов, Э. П. Бочкарев // Цветные металлы. - 1991. − № 8. − С. 29-31.
3. Кожемякин, В. А. Утилизация отходов в производстве трихлорсилана и поликристаллического кремния / В. А. Кожемякин, А. Н. Почтарев // Цветные металлы. - 2008. - № 10. - С. 65-68.
4. Апанасенко, В. В. Расчет материального баланса металлургического производства с использованием электронных таблиц «Excel» / В. В. Апанасенко // Вестник МИТХТ - 2009. - Т. 4, № 4. − С. 71-77.
Review
For citations:
Apanasenko V.V. The balance scheme of trichlorosilane production process made in «EXCEL». Fine Chemical Technologies. 2010;5(3):34-40. (In Russ.)
Views:
374
Email this article 
