МИКРОСТРУКТРА СЛОЕВ И ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ДИФФУЗИОННЫХ ОБЛАСТЕЙ В СИСТЕМАХ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ GaAs
Аннотация
Исследован процесс формирования микроструктуры слоев металлизации и выполнены расчетыразмеров диффузионных областей на межфазных границах металл(М)/GaAs и М/М. Полученные данные позволяют целенаправленно корректировать режимы нанесения слоев и отжига структур с целью получения различных систем металлизации с малыми внутренними напряжениями.
Об авторах
В. В. Арбенина
МИТХТ им. М.В. Ломоносова, 119571, Москва, пр-т Вернадского, д. 86
Россия
кафедра Материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, доцент
Россия
кафедра Материаловедения и технологии функциональных материалов и структур, доцент
А. С. Кашуба
ОАО «НПО «Орион», Москва, 111123
Россия
ведущий инженер-технолог
Россия
ведущий инженер-технолог
Е. В. Пермикина
ОАО «НПО «Орион», Москва, 111123
Россия
ведущий инженер
Россия
ведущий инженер
Список литературы
1. Арбенина В.В., Мармалюк А.А., Арбенин Д.Е., Будкин И.В., Говорков О.И. Травление смесью HNO3+HCl+ глицерин слоев металлизации на гетероструктурах GaAs/AlxGa1-xAs // Неорган. материалы. 2008. Т. 44. № 12. С. 1418-1424.
2. Стрельченко C.C., Лебедев В.В. Соединения А3В5 : справочник. М.: Металлургия, 1984. 144 с.
3. Бокштейн Б.С. Диффузия в металлах. М.: Металлургия, 1978. 247 с.
4. Бокштейн Б.С., Копецкий Ч.В., Швиндлерман Л.С. Термодинамика и кинетика границ зерен в металлах. М.: Металлургия, 1986. 223 с.
5. Харсен М., Андерко К. Структуры двойных сплавов: в 2-х т. М.: Металлургия, 1962. Т. 1. 608 с.
Рецензия
Для цитирования:
Арбенина В.В., Кашуба А.С., Пермикина Е.В. МИКРОСТРУКТРА СЛОЕВ И ОЦЕНКА РАЗМЕРОВ ДИФФУЗИОННЫХ ОБЛАСТЕЙ В СИСТЕМАХ МЕТАЛЛИЗАЦИИ ГЕТЕРОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ GaAs. Тонкие химические технологии. 2014;9(5):44-48.
For citation:
Arbenina V.V., Kashuba A.S., Permikina E.V. Estimation of diffusion behaviour of metals used for the creation of multilayered contacts to heterostructures based on GaAs. Fine Chemical Technologies. 2014;9(5):44-48. (In Russ.)
Просмотров:
340
Послать статью по эл. почте 
