Preview

Тонкие химические технологии

Расширенный поиск

ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ПОГЛОЩЕНИЯ СВЕТА В ПЛЕНКАХ ДИОКСИДА ТИТАНА

https://doi.org/10.32362/2410-6593-2016-11-4-50-55

Аннотация

Показано, что при напылении пленок диоксида титана методом реактивного термоиспарения использование ионизированного кислорода существенно влияет на величину коэффициента поглощения в них лазерного излучения, который измерялся с помощью метода фототермической радиометрии. С целью получения пленок с минимальным коэффициентом поглощения особое внимание уделяется оптимизации параметров метода. Показано, что с ростом степени ионизации кислорода наряду со снижением коэффициента поглощения происходит его стабилизация. Экспериментально установлено, что отклонение состава материала пленок от стехиометрического оказывает различное влияние на поглощение в них излучения видимого и ближнего инфракрасного диапазона спектра. Обсуждаются возможные механизмы поглощения на различных длинах волн излучения из указанного спектрального диапазона.

Об авторах

В. В. Новопашин
АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха»
Россия
начальник лаборатории Москва, 117342 Россия


Л. А. Скворцов
АО «НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха»
Россия
главный научный сотрудник Москва, 117342 Россия


М. И. Скворцова
Московский технологический университет (Институт тонких химических технологий)
Россия

заведующий кафедрой

Москва, 119571 Россия



Список литературы

1. Maissel L.I., Glang R. Handbook of thin film technology. New York: McGraw-Hill, 1970. 800 p.

2. Rao K.N. // Opt. Eng. 2002. V. 41. P. 2357-2364.

3. Зверев Г.М., Левчук Е.А., Скворцов Л.А.// Квантовая электроника. 1977. Т. 4. № 2. С. 413-416.

4. Колодный Г.Я., Левчук Е.А., Мосиевский В.А., Новопашин В.В., Скворцов Л.А., Полетаев В.Н. // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и электроника. 1988. Т. 48. № 4. С. 100-105.

5. Narasimha K.R. // Proc. SPIE. 1989. V. 1019. Thin Film Technologies III. P. 49-55.

6. Ebert J. // Thin Solid Films. 1980. V. 1. P. 43-47.

7. Зверев Г.М., Кудрявцева А.П., Михайлова Т.Н., Наумов В.С., Пашков В.А., Скворцов Л.А. // Электронная техника. Сер. 11. Лазерная техника и электроника. 1979. Т. 2. С. 82-86.

8. Nordal P.E., Kanstad S. O. // Phys. Scr. 1979. V. 20. P. 659-663.

9. Зверев Г.М., Скворцов Л.А. // Известия АН СССР. Серия физическая. 1981. Т. 45. С. 644-646.

10. Santos R., Miranda L.C.M. // J. Appl. Phys. 1981. V. 52. P. 4194-4199.

11. Лопаткин В.Н., Сидорюк О.Е., Скворцов Л.А. // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. С. 339-346.

12. Mandelis A., Riopel Y. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2000. V. 18. № 2. P. 705-708.

13. Emeline A., Salinaro A., Ryabchuk V., Serpone N. // Int. J. Photoenergy. 2001. V. 3. P. 1-16.

14. Hoffmann M., Martin S., Choi W., Bahnemann D. // Chem. Rev. 1995. V. 95. P. 69-96.

15. Зверев Г.М., Колядин С.А., Левчук Е.А., Скворцов Л.А.// Квантовая электроника. 1977. Т. 12. № 2. С.1882-1888.

16. Skvortsov L.A. // Quantum Electronics. 2010. V. 40. P. 59-63.


Рецензия

Для цитирования:


Новопашин В.В., Скворцов Л.А., Скворцова М.И. ИССЛЕДОВАНИЕ МЕХАНИЗМОВ ПОГЛОЩЕНИЯ СВЕТА В ПЛЕНКАХ ДИОКСИДА ТИТАНА. Тонкие химические технологии. 2016;11(4):50-55. https://doi.org/10.32362/2410-6593-2016-11-4-50-55

For citation:


Novopashin V.V., Skvortsov L.A., Skvortsova M.I. STUDY OF MECHANISMS OF LIGHT ABSORPTION IN TITANIUM DIOXIDE FILMS. Fine Chemical Technologies. 2016;11(4):50-55. https://doi.org/10.32362/2410-6593-2016-11-4-50-55

Просмотров: 692


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 International License.


ISSN 2410-6593 (Print)
ISSN 2686-7575 (Online)