chemicallytechFine Chemical TechnologiesТонкие химические технологии2410-65932686-7575MIREA – Russian Technological University (RTU MIREA).chemicallytech-794Research ArticleArticlesСтатьиFunctional oxide films obtained from chemical solutionsФункциональные оксидные пленки, получаемые из химических растворовТомашпольскийЮ. Я.TomashpolskyYu. Ya.tomash@cc.nifhi.ac.ruГНЦ РФ НИФХИ им. Л.Я. КарповаRussian Federation201128102011656571Copyright © Tomashpolsky Y.Y., 20112011Томашпольский Ю.Я.Tomashpolsky Y.Y.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.finechem-mirea.ru/jour/article/view/794пленочное материаловедениеоксидные пленкихимические растворыфазообразованиенаноструктурные превращенияfilm material scienceoxide filmschemical solutionsphase formationnanostructural transformationsReferencesАдрианова Т.Н., Захаров Л.А., Холькин А.Н. ВТСП-пленки из органических растворов // Электронная промышленность. 1996. № 2. С. 45-75.Адрианова Т.Н., Захаров Л.А., Холькин А.Н. ВТСП-пленки из органических растворов // Электронная промышленность. 1996. № 2. С. 45-75.Вайсберг А., Проскауэр Э., Ридлин Дж., Туис Э. Органические растворители. Физические свойства и методы очистки. - М.: Изд.-во иностр. лит., 1958. 520 с.Вайсберг А., Проскауэр Э., Ридлин Дж., Туис Э. Органические растворители. Физические свойства и методы очистки. - М.: Изд.-во иностр. лит., 1958. 520 с.Jergel M. Synthesis of high-Tc superconducting films by deposition from an aerosol // Supercond. Sci. Technol. 1995. V. 8. P. 67-78.Jergel M. Synthesis of high-Tc superconducting films by deposition from an aerosol // Supercond. Sci. Technol. 1995. V. 8. P. 67-78.Takeshi A., Izumi H. Review of a chemical approach to YBa2Cu3O7-x coated superconductors-metalorganic deposition using trifluoroacetates // Supercond. Sci. Technol. 2003. V. 16. P. R71-R94.Takeshi A., Izumi H. Review of a chemical approach to YBa2Cu3O7-x coated superconductors-metalorganic deposition using trifluoroacetates // Supercond. Sci. Technol. 2003. V. 16. P. R71-R94.Takayashi Y., Aoki Y., Hasegava T. Preparation of YBCO coated conductor on metallic tapes using MOD process // Physica C. 2004. V. 412-414. P. 905-909.Takayashi Y., Aoki Y., Hasegava T. Preparation of YBCO coated conductor on metallic tapes using MOD process // Physica C. 2004. V. 412-414. P. 905-909.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Федосеева О.В., Носкова И.А., Меньших С.А. Сверх-проводящие пленки иттрий-бариевого купрата с Тс=94К, полученные методом спрей-пиролиза растворов метакрилатов // Неорган. материалы. 2001. Т. 37. № 1. С. 75-80.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Федосеева О.В., Носкова И.А., Меньших С.А. Сверх-проводящие пленки иттрий-бариевого купрата с Тс=94К, полученные методом спрей-пиролиза растворов метакрилатов // Неорган. материалы. 2001. Т. 37. № 1. С. 75-80.Томашпольский Ю.Я., Садовская Н.В., Варшавский М.В., Павлова С.Ю. Фазообразование в пленках Bi2Sr2CaCu2O8, получаемых из растворов метакрилатов // Неорган. материалы. 2004. Т. 40. № 9. С. 1098-1105.Томашпольский Ю.Я., Садовская Н.В., Варшавский М.В., Павлова С.Ю. Фазообразование в пленках Bi2Sr2CaCu2O8, получаемых из растворов метакрилатов // Неорган. материалы. 2004. Т. 40. № 9. С. 1098-1105.Томашпольский Ю.Я., Садовская Н.В. Наномасштабные особенности морфологии в эволюции структуры пленок ВТСП из металлоорганических аэрозолей // Кристаллография. 2005. Т. 50. № 6. С. 1091-1098.Томашпольский Ю.Я., Садовская Н.В. Наномасштабные особенности морфологии в эволюции структуры пленок ВТСП из металлоорганических аэрозолей // Кристаллография. 2005. Т. 50. № 6. С. 1091-1098.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Садовская Н.В., Холопова С.Ю., Борисов Ю.В. Наноструктурные особенности фазообразования в структурах LaAlO3, (Ni - W) - CeO2 , LaAlO3 -YBa2Cu3O7, (Ni - W) - CeO2 - YBa2Cu3O7, полученных осаждением из металлоорганических растворов. Часть 2. LaAlO3 - YBa2Cu3O7, (Ni - W) - CeO2 -YBa2Cu3O7 // Неорган материалы (принята к печати).Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Садовская Н.В., Холопова С.Ю., Борисов Ю.В. Наноструктурные особенности фазообразования в структурах LaAlO3, (Ni - W) - CeO2 , LaAlO3 -YBa2Cu3O7, (Ni - W) - CeO2 - YBa2Cu3O7, полученных осаждением из металлоорганических растворов. Часть 2. LaAlO3 - YBa2Cu3O7, (Ni - W) - CeO2 -YBa2Cu3O7 // Неорган материалы (принята к печати).Томашпольский Ю.Я., Кочетов А.К. Пленки и поверхность оксидных сегнетоэлектриков и сверхпроводников. Обзорная информация. - М.: Науч.-исслед. институт технико-экономических исследований, 1989. 132 с.Томашпольский Ю.Я., Кочетов А.К. Пленки и поверхность оксидных сегнетоэлектриков и сверхпроводников. Обзорная информация. - М.: Науч.-исслед. институт технико-экономических исследований, 1989. 132 с.Larbalestier D., Gurevich A., Feldmann D.M., Polyanskii A. High-Tc superconducting materials for electric power applications // Nature. 2001. V. 414. Р. 368-377.Larbalestier D., Gurevich A., Feldmann D.M., Polyanskii A. High-Tc superconducting materials for electric power applications // Nature. 2001. V. 414. Р. 368-377.Izumi T., Honjo T., Tokunaga Y., Fuji H., Teranishi R., Iijima Y., Saitoh T., Nakamura Y., Shiohara Y. High-Jc YBCO coated conductors by metal organic deposition method using trifluoroacetates // IEEE Trans. Appl. Supercond. 2003. V. 13. Р. 2500-2503.Izumi T., Honjo T., Tokunaga Y., Fuji H., Teranishi R., Iijima Y., Saitoh T., Nakamura Y., Shiohara Y. High-Jc YBCO coated conductors by metal organic deposition method using trifluoroacetates // IEEE Trans. Appl. Supercond. 2003. V. 13. Р. 2500-2503.Castano O., Cavallaro A., Pallau A., Gonzalez J. C., Rossell M., Puig T., Sandiumenge F., Mestres N., Pinol S., Pomar A., Obradors X. High quality YBa2Cu3O7 thin films grown by trifluoroacetates metalorganic deposition // Supercond. Sci. Technol. 2003. V. 16. Р. 45-53.Castano O., Cavallaro A., Pallau A., Gonzalez J. C., Rossell M., Puig T., Sandiumenge F., Mestres N., Pinol S., Pomar A., Obradors X. High quality YBa2Cu3O7 thin films grown by trifluoroacetates metalorganic deposition // Supercond. Sci. Technol. 2003. V. 16. Р. 45-53.Takeshi A., Toyotaka Y., Haruhiko K. High-Jc YBa2Cu3O7-x films on metal tapes by the metalorganic deposition method using trifluoroacetates // Supercond. Sci. Technol. 2002. V. 15. P. L1-L3.Takeshi A., Toyotaka Y., Haruhiko K. High-Jc YBa2Cu3O7-x films on metal tapes by the metalorganic deposition method using trifluoroacetates // Supercond. Sci. Technol. 2002. V. 15. P. L1-L3.Томашпольский Ю.Я. Пленочные сегнетоэлектрики. - М.: Радио и связь, 1984. 120 с.Томашпольский Ю.Я. Пленочные сегнетоэлектрики. - М.: Радио и связь, 1984. 120 с.Томашпольский Ю.Я., Голикова Ю.В. Рыбакова Л.Ф. Сегнетоэлектрические пленки твердого раствора (Ba0,7-0,8Sr0,2-0,3)TiO3, полученные осаждением из растворов карбоксилатов // Неорган. материалы. 2002. Т. 38. № 9. С. 1122-1125.Томашпольский Ю.Я., Голикова Ю.В. Рыбакова Л.Ф. Сегнетоэлектрические пленки твердого раствора (Ba0,7-0,8Sr0,2-0,3)TiO3, полученные осаждением из растворов карбоксилатов // Неорган. материалы. 2002. Т. 38. № 9. С. 1122-1125.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Лунина Т.В., Федосеева О.В., Прутченко С.Г., Меньших С.А. Сегнетоэлектрические пленки цирконата-титаната свинца, полученные методом аэрозольного осаждения и пиролиза карбоксилатов // Неорган. материалы. 2001. Т. 37. № 5. С. 596-604.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Лунина Т.В., Федосеева О.В., Прутченко С.Г., Меньших С.А. Сегнетоэлектрические пленки цирконата-титаната свинца, полученные методом аэрозольного осаждения и пиролиза карбоксилатов // Неорган. материалы. 2001. Т. 37. № 5. С. 596-604.Белявский П.Ю., Никитин А.А., Карманенко С.Ф., Семенов А.А. Слоистый феррит-сегнето-электрический резонатор с электрическим и магнитным управлением // Изв. СПб ГЭТУ «ЛЭТИ» (Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета). 2008. Вып. 6. С. 24-28.Белявский П.Ю., Никитин А.А., Карманенко С.Ф., Семенов А.А. Слоистый феррит-сегнето-электрический резонатор с электрическим и магнитным управлением // Изв. СПб ГЭТУ «ЛЭТИ» (Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета). 2008. Вып. 6. С. 24-28.Abbas F., Gallop J.S., Landham C.D. Ferroelectric microwave shifter // Cryogenic. 1997. V. 37. P. 681-684.Abbas F., Gallop J.S., Landham C.D. Ferroelectric microwave shifter // Cryogenic. 1997. V. 37. P. 681-684.Бойков Ю.Ф., Иванов З.Г., Клаесон Т. Эпитаксиальные гетероструктуры сверхпроводник-сегнетоэлектрик для настраиваемых СВЧ-элементов // Физика твердого тела. 1997. Т. 39. № 2. С. 222-227.Бойков Ю.Ф., Иванов З.Г., Клаесон Т. Эпитаксиальные гетероструктуры сверхпроводник-сегнетоэлектрик для настраиваемых СВЧ-элементов // Физика твердого тела. 1997. Т. 39. № 2. С. 222-227.Cao L.X., Xu Y., Zhao B.R. Synthesis and properties of ferroelectric/high temperature super-conductors integrated films // Chin. Sci. Bull. 1996. V. 41. P. 371-374.Cao L.X., Xu Y., Zhao B.R. Synthesis and properties of ferroelectric/high temperature super-conductors integrated films // Chin. Sci. Bull. 1996. V. 41. P. 371-374.Садовская Н.В., Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Муранова О.А., Прутченко С.Г. Гетероструктура (Ba,Sr)TiO3/Bi2Sr2CaCu2O8 с барьерным слоем SrTiO3 // Неорган. материалы. 2004. Т. 40. № 11. С. 1376-1381.Садовская Н.В., Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Муранова О.А., Прутченко С.Г. Гетероструктура (Ba,Sr)TiO3/Bi2Sr2CaCu2O8 с барьерным слоем SrTiO3 // Неорган. материалы. 2004. Т. 40. № 11. С. 1376-1381.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Садовская Н.В., Живарева Ю.В., Ванина А.В., Прутченко С.Г. Состав, микроструктура, сверхпроводящие и сегнетоэлектрические свойства слоевых структур Bi-Sr-Ca-Cu-O/Pb-Ti-Zr-O // Неорган. материалы. 2003. Т. 39. № 7. С. 863-871.Томашпольский Ю.Я., Рыбакова Л.Ф., Садовская Н.В., Живарева Ю.В., Ванина А.В., Прутченко С.Г. Состав, микроструктура, сверхпроводящие и сегнетоэлектрические свойства слоевых структур Bi-Sr-Ca-Cu-O/Pb-Ti-Zr-O // Неорган. материалы. 2003. Т. 39. № 7. С. 863-871.Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: cправочник. - М.: Радио и связь, 1991. 528 с.Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: cправочник. - М.: Радио и связь, 1991. 528 с.Томашпольский Ю.Я., Голикова Ю.В., Рыбакова Л.Ф. Пленки Al2O3 на металлических фольгах, полученные из суспензий и растворов // Неорган. материалы. 2002. Т. 38. № 4. С. 454-457.Томашпольский Ю.Я., Голикова Ю.В., Рыбакова Л.Ф. Пленки Al2O3 на металлических фольгах, полученные из суспензий и растворов // Неорган. материалы. 2002. Т. 38. № 4. С. 454-457.
The authors declare that there are no conflicts of interest present.